Ταξινόμηση γκοφρέτας πυριτίου

Φυσικός καθαρισμός
Υπάρχουν τρεις μέθοδοι φυσικού καθαρισμού. ① Βούρτσισμα ή τρίψιμο: μπορεί να αφαιρέσει τη μόλυνση από σωματίδια και τις περισσότερες μεμβράνες που συνδέονται με τη γκοφρέτα. ② Καθαρισμός υψηλής πίεσης: το υγρό ψεκάζεται στην επιφάνεια του πλακιδίου και η πίεση του ακροφυσίου είναι τόσο υψηλή όσο αρκετές εκατοντάδες ατμόσφαιρες. Ο καθαρισμός υψηλής πίεσης βασίζεται στη δράση ψεκασμού και η γκοφρέτα δεν είναι εύκολο να γρατσουνιστεί ή να καταστραφεί. Ωστόσο, ο ψεκασμός υψηλής πίεσης θα παράγει στατικό ηλεκτρισμό, ο οποίος μπορεί να αποφευχθεί ρυθμίζοντας την απόσταση και τη γωνία μεταξύ του ακροφυσίου και της γκοφρέτας ή προσθέτοντας αντιστατικούς παράγοντες. ③ Καθαρισμός με υπερήχους: η ενέργεια υπερήχων μεταδίδεται στο διάλυμα και η μόλυνση στη γκοφρέτα ξεπλένεται με σπηλαίωση. Ωστόσο, είναι πιο δύσκολο να αφαιρέσετε σωματίδια μικρότερα από 1 micron από μια γκοφρέτα με σχέδια. Η αύξηση της συχνότητας στη ζώνη εξαιρετικά υψηλών συχνοτήτων θα επιτύχει καλύτερα αποτελέσματα καθαρισμού.
Χημικός καθαρισμός
Ο χημικός καθαρισμός είναι η αφαίρεση αόρατης μόλυνσης από άτομα και ιόντα. Υπάρχουν πολλές μέθοδοι, συμπεριλαμβανομένης της εκχύλισης με διαλύτη, της αποξήρωσης (θειικό οξύ, νιτρικό οξύ, aqua regia, διάφορα μικτά οξέα κ.λπ.) και η μέθοδος πλάσματος. Μεταξύ αυτών, η μέθοδος καθαρισμού του συστήματος υπεροξειδίου του υδρογόνου έχει καλό αποτέλεσμα και λιγότερη περιβαλλοντική ρύπανση. Η γενική μέθοδος είναι να καθαρίσετε πρώτα τη γκοφρέτα πυριτίου με ένα όξινο υγρό με αναλογία σύνθεσης H2SO4:H2O2=5:1 ή 4:1. Η ισχυρή οξειδωτική ιδιότητα του διαλύματος καθαρισμού αποσυντίθεται και απομακρύνει την οργανική ύλη. αφού ξεπλυθεί με υπερκαθαρό νερό, στη συνέχεια καθαρίζεται με αλκαλικό διάλυμα καθαρισμού με αναλογία σύνθεσης H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1 ή 5:1:1 ή 7:2:1. Λόγω της οξείδωσης του H2O2 και της συμπλοκοποίησης του NH4OH, πολλά μεταλλικά ιόντα σχηματίζουν σταθερά διαλυτά σύμπλοκα και διαλύονται στο νερό. στη συνέχεια χρησιμοποιείται ένα όξινο διάλυμα καθαρισμού με αναλογία σύνθεσης H2O:H2O2:HCL=7:2:1 ή 5:2:1. Λόγω της οξείδωσης του H2O2 και της διάλυσης του υδροχλωρικού οξέος, καθώς και της συμπλοκοποίησης των ιόντων χλωρίου, πολλά μέταλλα δημιουργούν σύμπλοκα ιόντα διαλυτά στο νερό, επιτυγχάνοντας έτσι τον σκοπό του καθαρισμού.
Η ατομική ανάλυση ραδιενεργού ιχνηθέτη και η ανάλυση φασματομετρίας μάζας δείχνουν ότι το καλύτερο αποτέλεσμα του καθαρισμού πλακών πυριτίου είναι η χρήση συστήματος υπεροξειδίου του υδρογόνου και όλα τα χημικά αντιδραστήρια που χρησιμοποιούνται, H2O2, NH4OH και HCl, μπορούν να εξατμιστούν πλήρως. Όταν καθαρίζετε γκοφρέτες πυριτίου με H2SO4 και H2O2, περίπου 2×1010 άτομα ανά τετραγωνικό εκατοστό ατόμων θείου θα μείνουν στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου, τα οποία μπορούν να αφαιρεθούν εντελώς χρησιμοποιώντας το τελευταίο όξινο διάλυμα καθαρισμού. Η χρήση του συστήματος H2O2 για τον καθαρισμό των γκοφρετών πυριτίου δεν αφήνει υπολείμματα, είναι λιγότερο επιβλαβής και είναι επίσης ευεργετική για την υγεία των εργαζομένων και την προστασία του περιβάλλοντος. Αφού υποβληθούν σε επεξεργασία με κάθε διάλυμα καθαρισμού στον καθαρισμό των πλακών πυριτίου, πρέπει να ξεπλυθούν καλά με υπερκαθαρό νερό.